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	刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响
	郭婷[1]; 左潇[2]; 郭鹏[3]; 李晓伟[4]; 吴晓春[5]; 谢仕芳[6]; 汪爱英[7]
刊名	表面技术
	2017
卷号	46页码:143-149
关键词	四面体非晶碳膜 辉光刻蚀 电弧刻蚀 刻蚀时间 结构
ISSN号	1001-3660
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2192580
专题	上海大学
作者单位	1.[1]上海大学 材料科学与工程学院,上海 200072 2.中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江 宁波 315201 3.中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波 315201[2]中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江 宁波 315201 4.中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波 315201[3]中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江 宁波 315201 5.中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波 315201[4]中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江 宁波 315201 6.中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波 315201[5]上海大学 材料科学与工程学院,上海,200072[6]江西省科学院 应用物理研究所,南昌,330029[7]中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江 宁波 315201 7.中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波 315201
推荐引用方式 GB/T 7714	郭婷[1],左潇[2],郭鹏[3],等. 刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响[J]. 表面技术,2017,46:143-149.
APA	郭婷[1].,左潇[2].,郭鹏[3].,李晓伟[4].,吴晓春[5].,...&汪爱英[7].(2017).刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响.表面技术,46,143-149.
MLA	郭婷[1],et al."刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响".表面技术 46(2017):143-149.

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