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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [3]
会议论文 [1]
发表日期
2007 [1]
2004 [2]
2003 [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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氮元素对高k铪基介电薄膜总剂量抗辐射性能的影响研究
期刊论文
核技术, 2007, 期号: 08
宋朝瑞
;
程新红
;
张恩霞
;
邢玉梅
;
俞跃辉
;
郑志宏
;
沈勤我
;
张正选
;
王曦
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/06
注氧隔离
绝缘体上硅
总剂量辐射效应
高温碳离子注入形成碳化硅埋层的结构研究
期刊论文
功能材料与器件学报, 2004, 期号: 03
邢玉梅
;
俞跃辉
;
林梓鑫
;
宋朝瑞
;
杨文伟
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/06
DNA芯片
乙型肝炎病毒
基因多态性
地高辛
在SOI材料上制备高质量的氧化铪薄膜
期刊论文
功能材料, 2004, 期号: 06
邢玉梅
;
陶凯
;
俞跃辉
;
郑志宏
;
杨文伟
;
宋朝瑞
;
沈达身
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/01/06
CDMA
LTJ
格型滤波器
LMS
窄带干扰抑制
自适应非线性滤波器
用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜
会议论文
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003
邢玉梅
;
陶凯
;
俞跃辉
;
宋朝瑞
;
郑志宏
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2012/01/18
IBED方法 SOI 氧化铪薄膜 离子束辅助增强沉积系统 X射线衍射技术 电介质绝缘性能
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