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氮元素对高k铪基介电薄膜总剂量抗辐射性能的影响研究 期刊论文
核技术, 2007, 期号: 08
宋朝瑞; 程新红; 张恩霞; 邢玉梅; 俞跃辉; 郑志宏; 沈勤我; 张正选; 王曦
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高温碳离子注入形成碳化硅埋层的结构研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 2004, 期号: 03
邢玉梅; 俞跃辉; 林梓鑫; 宋朝瑞; 杨文伟
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在SOI材料上制备高质量的氧化铪薄膜 期刊论文
功能材料, 2004, 期号: 06
邢玉梅; 陶凯; 俞跃辉; 郑志宏; 杨文伟; 宋朝瑞; 沈达身
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用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜 会议论文
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003
邢玉梅; 陶凯; 俞跃辉; 宋朝瑞; 郑志宏
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