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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 PECVD　SiON薄膜的工艺控制、性质及其潜在应用 期刊论文 光学学报, 1995, 期号: 07 祖继锋; 耿完桢; 洪晶; 余宽豪; 江志庚; 李志彭; 陈学良 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2012/03/29