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| 太赫兹焦平面阵列及检测与成像装置 专利
专利号: CN201510100794.3, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2016-10-05
作者: 李志刚 ; 欧毅; 傅剑宇; 尚海平; 欧文
  收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2019/03/12 |
| Low atomic number silicon nitride films for transmission electron microscopy 期刊论文
Materials Science in Semiconductor Processing, 2018
作者: Li JF(李俊峰); Liu RW(刘瑞文); Shang HP(尚海平); Chen DP(陈大鹏); Wang WB(王玮冰)
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2019/05/20 |
| Thermal annealing effects on the stress stability in silicon dioxide films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition 期刊论文
Microsystem Technologies, 2017
作者: Chen DP(陈大鹏); Fu JY(傅剑宇); Shang HP(尚海平); Wang WB(王玮冰); Li ZG(李志刚)
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2018/05/14 |
| 应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法 专利
专利号: CN201210024934.X, 申请日期: 2016-05-18, 公开日期: 2013-08-14
作者: 尚海平; 卢迪克; 李志刚; 陈大鹏; 刘瑞文
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2017/06/30 |
| Accurate lifetime prediction for channel hot carrier stress on sub-1 nm equivalent oxide thickness HK/MG nMOSFET with thin titanium nitride capping layer 期刊论文
Microelectronics Reliability, 2016
作者: Luo WC(罗维春); Yang H(杨红); Wang WW(王文武); Zhu HL(朱慧珑); Zhao C(赵超)
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2017/05/09 |
| 张应力 LPCVD SiO2膜的制造方法 专利
专利号: CN201110448748.4, 申请日期: 2016-04-20, 公开日期: 2013-07-03
作者: 刘瑞文; 陈大鹏; 卢狄克; 李志刚; 尚海平
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2017/06/30 |
| 采用KOH溶液的硅基MEMS器件湿法释放方法 专利
专利号: CN201210062362.4, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-09-18
作者: 卢狄克; 李志刚; 刘瑞文; 陈大鹏; 尚海平
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2016/06/17 |
| 太赫兹焦平面阵列及检测与成像装置 专利
专利号: CN201520131059.4, 申请日期: 2015-06-17,
作者: 李志刚; 欧毅; 傅剑宇; 尚海平; 欧文
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2016/09/19 |
| Design optimization and performance analysis of deformed optical readout focal plane array 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015
作者: Chen DP(陈大鹏); Fu JY(傅剑宇); Shang HP(尚海平)
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2016/05/23 |
