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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：成果    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究 成果 2005 主要完成人:  李俊峰;  周小茵;  高文方;  刘明;  陈宝钦 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/09/07 0.8微米CMOS集成电路芯片制造技术 成果 1996 主要完成人:  户焕章 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2018/09/06 1微米LSI中TiSi2TaSi2/N+多晶硅复合结构RIE腐蚀研究 成果 1990 主要完成人:  赵玉印;  徐秋霞;  周锁京;  冯淑敏 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2018/09/06