| 0.8微米CMOS集成电路芯片制造技术 | |
户焕章; 刘改芬; 柴树敏; 袁湘君; 赵玉印 ; 龚义元; 李夏; 朱亚江; 周小茵; 徐秋霞
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| 1996 | |
| 文献子类 | 中国科学院科技进步奖 |
| 奖励等级 | 一等奖 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18458]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 户焕章,刘改芬,柴树敏,等. 0.8微米CMOS集成电路芯片制造技术. . 1996. |
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