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氮化硼薄膜在退火相变中的应力研究 会议论文
第六届中国功能材料及其应用学术会议
作者:  张晓康;  邓金祥;  王瑶;  陈光华;  郝伟
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2015/06/24
氮化硼薄膜的红外光谱研究 会议论文
第十四届全国光散射学术会议
作者:  邓金祥;  王瑶;  张晓康;  周涛;  汪旭阳
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2015/06/24
氮气含量对沉积BN薄膜的影响 会议论文
第十六届全国半导体物理学术会议
作者:  王瑶;  邓金祥;  张晓康;  陈光华;  郝伟
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2015/06/24
三步法制备立方氮化硼薄膜 会议论文
第十六届全国半导体物理学术会议
作者:  张晓康;  邓金祥;  王瑶;  陈光华;  贺德衍
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2015/06/25
p-c-BN/p-Si薄膜同型异质结的电学特性 会议论文
2006年全国功能材料学术年会专辑
作者:  李志中;  陈光华;  何斌;  郜志华;  张晓康
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2015/06/24
MW-ECR CVD制备立方氮化硼薄膜 会议论文
2006年全国功能材料学术年会专辑
作者:  郜志华;  陈光华;  李志中;  邓金祥;  丁毅
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2015/06/24
采用热丝辅助MW-ECRCVD法制备高性能a-Si:H薄膜 会议论文
TFC'05全国薄膜技术学术研讨会
作者:  张文理;  陈光华;  何斌;  朱秀红;  马占洁
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2015/06/24


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