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一种多层薄膜的沉积装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2011-01-19, 公开日期: 2011-01-19
赵彦辉, 肖金泉, 郎文昌, 于宝海 and 华伟刚
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多模式可编程调制的旋转横向磁场控制的电弧离子装置 专利
申请日期: 2010-06-09, 公开日期: 2013-06-19
肖金泉,郎文昌,孙超,宫骏,赵彦辉,闻立时
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2013/06/19
多模式可编程调制的旋转横向磁场控制的电弧离子镀装置 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-02-11, 公开日期: 2009-02-11
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 赵彦辉 and 闻立时
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一种磁场增强电弧离子镀沉积工艺 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-02-11, 公开日期: 2009-02-11
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 杜昊, 赵彦辉 and 闻立时
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2013/06/06
旋转磁控电弧离子镀弧源 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-02-11, 公开日期: 2009-02-11
闻立时, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 赵彦辉 and 肖金泉
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2013/06/06
一种结构紧凑的多功能磁控离子镀弧源装置 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-02-04, 公开日期: 2009-02-04
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 赵彦辉, 杨英 and 闻立时
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提高电弧离子镀沉积薄膜质量的装置 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-02-04, 公开日期: 2009-02-04
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 赵彦辉, 杜昊 and 闻立时
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2013/06/06
一种动态受控电弧离子镀弧源 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-02-04, 公开日期: 2009-02-04
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 杨英, 赵彦辉, 杜昊 and 闻立时
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2013/06/06
一种离子镀弧斑控制装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2009-02-04, 公开日期: 2009-02-04
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 赵彦辉, 华伟刚 and 闻立时
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2013/06/06
PLC可控的旋转横向磁场辅助电弧离子设备 专利
申请日期: 2008-12-10, 公开日期: 2013-06-19
肖金泉 郎文昌 孙超 宫骏 赵彦辉 杨英 华伟刚 闻立时
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