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多循环快速热退火辅助金属诱导晶化非晶硅薄膜的方法 专利
申请日期: 2013-01-01,
作者:  金晶[1];  戴文韫[2];  瞿晓雷[3];  邱宇峰[4];  史伟民[5]
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多循环快速热退火非晶硅薄膜的方法 专利
申请日期: 2012-01-01,
作者:  金晶[1];  瞿晓雷[2];  史伟民[3];  戴文韫[4];  袁安东[5]
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超声波辅助下水浴真空物理气相沉积厚膜的系统装置 专利
申请日期: 2012-01-01,
作者:  刘功龙[1];  史伟民[2];  吕燕芳[3];  廖阳[4];  杨伟光[5]
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两步退火辅助氯化镍诱导晶化非晶硅薄膜的方法 专利
申请日期: 2012-01-01,
作者:  金晶[1];  瞿晓雷[2];  史伟民[3];  邱宇峰[4];  周平生[5]
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一种用金属铜在低温下诱导非晶硅薄膜晶化为多晶硅薄膜的方法 专利
申请日期: 2012-01-01,
作者:  史伟民[1];  周平生[2];  周平华[3];  李杰[4];  瞿晓雷[5]
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