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	多循环快速热退火非晶硅薄膜的方法
	金晶[1]; 瞿晓雷[2]; 史伟民[3]; 戴文韫[4]; 袁安东[5]
	2012
权利人	上海大学
URL标识	查看原文
申请日期	2012-11-27
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2297415
专题	上海大学
作者单位	上海大学
推荐引用方式 GB/T 7714	金晶[1],瞿晓雷[2],史伟民[3],等. 多循环快速热退火非晶硅薄膜的方法. 2012-01-01.

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