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一种钇铝氧复合氧化物高K介质薄膜晶体管的制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2012-09-19, 公开日期: 2013-12-16
俞峥; 曹鸿涛; 梁凌燕; 许望颖; 方燕群; 叶小娟
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