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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 采用复合模式生长半导体薄膜的方法及装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-08-29 单崇新; 鞠振刚; 倪佩楠; 李炳辉; 王双鹏; 申德振 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/08/29 一种采用均匀进气系统的原子层沉积装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-08-29 单崇新; 申赫; 于吉; 刘兴宇; 王双鹏; 李炳辉; 申德振 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/08/29 立方相氧锌镁单晶薄膜的生长制备方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-09-22, 公开日期: 2012-08-29 王立昆; 张吉英; 郑剑; 单崇新; 申德振; 姚斌; 赵东旭; 李炳辉; 张振中 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/08/29