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科研机构
上海技术物理研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2013 [1]
学科主题
红外探测材料与器件 [1]
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ICP刻蚀InGaAs的微观损伤机制研究
期刊论文
红外与激光工程, 2013, 卷号: 42, 期号: 8
作者:
程吉凤
;
朱耀明
;
唐恒敬
;
李雪
;
邵秀梅
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提交时间:2014/11/05
感应耦合等离子体
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