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半导体研究所 [4]
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专利 [4]
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微电子学 [4]
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学科主题:微电子学
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一种制备图形化多孔硅结构的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
赵永梅
;
杨香
;
季安
;
张明亮
;
韩国威
;
宁瑾
;
王晓东
;
杨富华
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
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提交时间:2014/11/05
一种利用金属材料扩散互溶实现硅-硅键合的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
赵永梅
;
何志
;
季安
;
王晓峰
;
黄亚军
;
潘岭峰
;
樊中朝
;
王晓东
;
杨富华
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/09/12
材料扩散互溶实现碳化硅键合的方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
赵永梅
;
何志
;
季安
;
刘胜北
;
黄亚军
;
杨香
;
段瑞飞
;
张明亮
;
王晓东
;
杨富华
收藏
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浏览/下载:69/0
  |  
提交时间:2016/09/28
一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
赵永梅
;
季安
;
张明亮
;
杨香
;
宁瑾
;
王晓东
;
杨富华
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2014/11/05
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