CORC

浏览/检索结果: 共4条,第1-4条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页:   排序方式:
大剂量氧注入硅中的再分布理论及其快速计算 期刊论文
半导体学报, 1996, 卷号: 17, 期号: 9, 页码: 698
奚雪梅; 赵清太; 张兴; 李映雪; 王阳元; 陈新; 王佑祥
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2010/11/23
一种H2微刻蚀进行碳化硅离子激活的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
刘胜北; 何志; 刘斌; 刘兴昉; 杨香; 樊中朝; 王晓峰; 王晓东; 赵永梅; 杨富华; 孙国胜; 曾一平
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2016/08/30
一种碳化硅欧姆接触电极及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-29
刘胜北; 何志; 刘斌; 杨香; 刘兴昉; 张峰; 王雷; 田丽欣; 刘敏; 申占伟; 赵万顺; 樊中朝; 王晓峰; 王晓东; 赵永梅; 杨富华; 孙国胜; 曾一平
收藏  |  浏览/下载:37/0  |  提交时间:2016/09/29
一种去除碳化硅等离子体刻蚀形成的刻蚀损伤层的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
刘胜北; 何志; 刘斌; 刘兴昉; 杨香; 樊中朝; 王晓峰; 王晓东; 赵永梅; 杨富华; 孙国胜; 曾一平
收藏  |  浏览/下载:89/0  |  提交时间:2016/09/28


©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by CSpace