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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2009 [1]
2001 [1]
学科主题
光电子学 [2]
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学科主题:光电子学
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纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能
期刊论文
物理化学学报, 2009, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 1523-1529
作者:
季安
;
刘剑
;
李贵柯
;
王晓东
;
梁继然
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提交时间:2010/11/23
采用TEOS和H_2O源PECVD方法生长氧化硅厚膜(英文)
期刊论文
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 543
雷红兵
;
王红杰
;
邓晓清
;
杨沁清
;
胡雄伟
;
王启明
;
廖左升
;
杨基南
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提交时间:2010/11/23
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