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平面行星夹具均匀性修正挡板设计方法研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 286, 289
方明; 郑伟军; 吴明; 范瑞瑛; 易葵; 范正修
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