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会议论文 [1]
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Improved etching uniformity using equivalent electrodes on an unconventional, irregular membrane optical element for large aperture diffractive optical telescopes
期刊论文
Optics Express, 2020, 卷号: 28, 期号: 22, 页码: 33739-33746
作者:
Zhang, Jingwen
;
Li, Zhiwei
;
Shao, Junming
;
Liu, Dun
;
Fan, Bin
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2021/05/11
Improved etching uniformity using equivalent electrodes on an unconventional, irregular membrane optical element for large aperture diffractive optical telescopes
会议论文
作者:
Zhang, Jingwen
;
Li, Zhiwei
;
Shao, Junming
;
Liu, Dun
;
Fan, Bin
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
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提交时间:2020/12/18
Electrodes
Electron temperature
EtchingElectron number densities
Etching depth
Etching uniformity
Irregular sample
Irregular shape
Large aperture
Plasma characteristics
Plasma discharge
Improved etching uniformity using equivalent electrodes on an unconventional, irregular membrane optical element for large aperture diffractive optical telescopes
期刊论文
Optics Express, 2020, 卷号: 28, 期号: 22, 页码: 33739-33746
作者:
Zhang, Jingwen
;
Li, Zhiwei
;
Shao, Junming
;
Liu, Dun
;
Fan, Bin
收藏
  |  
浏览/下载:18/0
  |  
提交时间:2020/12/18
Electrodes
Electron temperature
EtchingElectron number densities
Etching depth
Etching uniformity
Irregular sample
Irregular shape
Large aperture
Plasma characteristics
Plasma discharge
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