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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2018    内容类型：专利    专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法 专利 申请日期: 2018-04-13, 作者:  蒋维乐;  于明智;  赵立波;  贾琛;  李支康 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/26 一种MEMS直拉直压式两轴加速度计芯片及其制备方法 专利 申请日期: 2018-03-20, 作者:  赵立波;  于明智;  蒋维乐;  贾琛;  李支康 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/11/26 一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法 专利 申请日期: 2018-01-19, 作者:  赵立波;  黄琳雅;  蒋维乐;  胡英杰;  王久洪 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/11/26