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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2013    内容类型：会议论文    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Novel Equivalent Circuit Model for Spiral Inductors on Lossy Silicon Substrate 会议论文 2nd International Conference on Mechatronics and Applied Mechanics (ICMAM2012), Taipei, PEOPLES R CHINA, 2012-12-08 作者:  Zou, Juan;  Tang, Zhen An 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/11 spiral inductor  circuit model  parameter extract  FastHenry   SiH4浓度对混合气体Ar/SiH4/H2放电过程中粒子密度分布的影响 会议论文 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会, 上海, 2013-08-15 作者:  庄娟;  孙继忠;  桑超峰;  王德真 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/11 SiH_4浓度对混合气体Ar/SiH_4/H_2放电过程中粒子密度分布的影响 会议论文 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会, 中国上海, 2013-08-15 作者:  庄娟;  孙继忠;  桑超峰;  王德真 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/13 粒子密度  Ar/SiH_4/H_2  SiH_4  微晶硅薄膜  放电过程  薄膜沉积  电子密度  混合气体  刻蚀作用  反应气体