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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2012    内容类型：专利     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 采用复合模式生长半导体薄膜的方法及装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-08-29 单崇新; 鞠振刚; 倪佩楠; 李炳辉; 王双鹏; 申德振 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/08/29 一种采用均匀进气系统的原子层沉积装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-08-29 单崇新; 申赫; 于吉; 刘兴宇; 王双鹏; 李炳辉; 申德振 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/08/29