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氢稀释对纳米晶硅薄膜微结构的影响 期刊论文
功能材料, 2011, 卷号: 42, 期号: 3, 页码: 524-527
作者:  于威[1];  卢海江[2];  路万兵[3];  孟令海[4];  王新占[5]
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