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	氢稀释对纳米晶硅薄膜微结构的影响
	于威[1]; 卢海江[2]; 路万兵[3]; 孟令海[4]; 王新占[5]; 韩理[6]; 傅广生[7]
刊名	功能材料
	2011
卷号	42期号:3页码:524-527
关键词	纳米晶硅薄膜 电感耦合等离子体 晶态比 氢稀释比
ISSN号	1001-9731
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5100795
专题	河北大学
作者单位	[1]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002[2]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002[3]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002[4]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002[5]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002[6]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002[7]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002
推荐引用方式 GB/T 7714	于威[1],卢海江[2],路万兵[3],等. 氢稀释对纳米晶硅薄膜微结构的影响[J]. 功能材料,2011,42(3):524-527.
APA	于威[1].,卢海江[2].,路万兵[3].,孟令海[4].,王新占[5].,...&傅广生[7].(2011).氢稀释对纳米晶硅薄膜微结构的影响.功能材料,42(3),524-527.
MLA	于威[1],et al."氢稀释对纳米晶硅薄膜微结构的影响".功能材料 42.3(2011):524-527.

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