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氦离子注入4H-SiC晶体的纳米硬度研究;Study on nanohardness of helium-implanted 4H-SiC 期刊论文
物理学报, 2010, 卷号: 59, 期号: 06, 页码: 4130-4135
张勇; 张崇宏; 周丽宏; 李炳生; 杨义涛
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氦离子注入4H-SiC晶体的纳米硬度研究 期刊论文
物理学报, 2010, 卷号: 000, 期号: 006, 页码: 4130-4135
作者:  张勇;  张崇宏;  周丽宏;  李炳生;  杨义涛
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2021/12/13


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