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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2010    专题：兰州大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 等离子体浸没离子注入技术与设备研究 期刊论文 半导体技术, 2010, 期号: 7, 页码: 626-629 作者:  刘杰;  汪明刚;  杨威风;  李超波;  夏洋 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/04/27 等离子体浸没离子注入  超浅结  感应耦合  线圈结构  脉冲偏压电源