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一种低温高速沉积氢化非晶氮化硅薄膜的方法 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-08-18
作者:  于威[1];  傅广生[2];  孟令海[3];  腾晓云[4];  王春生[5]
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一种低温下制备氢化纳米晶态碳化硅薄膜的方法 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-08-18
作者:  于威[1];  路万兵[2];  傅广生[3];  王春生[4];  崔双魁[5]
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2019/12/21
一种错配层钴氧化合物热电薄膜光探测器 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-09-08
作者:  王淑芳[1];  陈景春[2];  傅广生[3];  陈明敬[4];  何立平[5]
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一种p-n异质结光探测器 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-09-08
作者:  王淑芳[1];  陈明敬[2];  傅广生[3];  陈景春[4];  何立平[5]
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一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-08-18
作者:  于威[1];  路万兵[2];  傅广生[3];  刘丽辉[4];  王保柱[5]
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