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	一种低温下制备氢化纳米晶态碳化硅薄膜的方法
	于威[1]; 路万兵[2]; 傅广生[3]; 王春生[4]; 崔双魁[5]
	2010
权利人	河北大学
公开日期	2010-08-18
URL标识	查看原文
申请日期	2010-04-01
专利申请号	CN201010137246.5
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5101442
专题	河北大学
作者单位	河北大学
推荐引用方式 GB/T 7714	于威[1],路万兵[2],傅广生[3],等. 一种低温下制备氢化纳米晶态碳化硅薄膜的方法. 2010-01-01.

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