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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2009    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Wafer level bulk titanium ICP etching using SU8 as an etching mask 期刊论文 journal of micromechanics and microengineering, 2009 Zhao, Gang; Shu, Qiong; Tian, Yao; Zhang, Yiming; Chen, Jing 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 FABRICATION