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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2008    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量 期刊论文 纳米技术与精密工程, 2008, 期号: 01 夏晓媛; 李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨衡; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS扫描微镜  高速转动  动态形变  光学分辨率