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一种纳米线宽多晶硅栅刻蚀掩膜图形的形成方法 专利
专利号: CN200410047532.7, 申请日期: 2007-10-10, 公开日期: 2005-11-23
作者:  钱鹤;  徐秋霞;  刘明;  赵玉印
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