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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2007    内容类型：会议论文    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响 会议论文 第十三届全国等离子体科学技术会议, 中国四川成都, 2007-08-20 作者:  庄娟;  王德真 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27 等离子体放电  激发频率  电子密度  鞘层  碰撞频率  离子能量  沉积速率  电场强度  连续性方程  自洽