| 激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响 | |
| 庄娟; 王德真 | |
| 2007 | |
| 会议名称 | 第十三届全国等离子体科学技术会议 |
| 会议日期 | 2007-08-20 |
| 会议地点 | 中国四川成都 |
| 关键词 | 等离子体放电 激发频率 电子密度 鞘层 碰撞频率 离子能量 沉积速率 电场强度 连续性方程 自洽 |
| 页码 | 10 |
| 会议录 | 第十三届全国等离子体科学技术会议
 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5661137 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 庄娟,王德真. 激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响[C]. 见:第十三届全国等离子体科学技术会议. 中国四川成都. 2007-08-20. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论