激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响 | |
庄娟; 王德真 | |
2007 | |
会议名称 | 第十三届全国等离子体科学技术会议 |
会议日期 | 2007-08-20 |
会议地点 | 中国四川成都 |
关键词 | 等离子体放电 激发频率 电子密度 鞘层 碰撞频率 离子能量 沉积速率 电场强度 连续性方程 自洽 |
页码 | 10 |
会议录 | 第十三届全国等离子体科学技术会议 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5661137 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 庄娟,王德真. 激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响[C]. 见:第十三届全国等离子体科学技术会议. 中国四川成都. 2007-08-20. |
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