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CVD掺硫金刚石薄膜的应力研究 期刊论文
中国激光, 2004, 卷号: 31, 期号: z1, 页码: 480-482
作者:  赵庆勋[1];  王永杰[2];  南景宇[3];  杨景发[4];  闫正[5]
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