| CVD掺硫金刚石薄膜的应力研究 | |
| 赵庆勋[1]; 王永杰[2]; 南景宇[3]; 杨景发[4]; 闫正[5] | |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 2004 | |
| 卷号 | 31期号:z1页码:480-482 |
| 关键词 | 薄膜物理学 化学气相沉积 金刚石薄膜 掺杂 应力 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.3321/j.issn:0258-7025.2004.z1.160 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 收录类别 | 中文核心期刊要目总览 |
| WOS记录号 | WOS: |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5998488 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | [1]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002[2]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002[3]张家口师范专科学校物理系,河北,张家口,075000[4]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002[5]河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵庆勋[1],王永杰[2],南景宇[3],等. CVD掺硫金刚石薄膜的应力研究[J]. 中国激光,2004,31(z1):480-482. |
| APA | 赵庆勋[1],王永杰[2],南景宇[3],杨景发[4],&闫正[5].(2004).CVD掺硫金刚石薄膜的应力研究.中国激光,31(z1),480-482. |
| MLA | 赵庆勋[1],et al."CVD掺硫金刚石薄膜的应力研究".中国激光 31.z1(2004):480-482. |
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