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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2004 [2]
学科主题
半导体材料 [2]
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发表日期:2004
学科主题:半导体材料
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等离子体增强化学气相沉积法实现硅纳米线掺硼
期刊论文
物理学报, 2004, 卷号: 53, 期号: 12, 页码: 4410-4413
作者:
王博
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提交时间:2010/11/23
氢稀释对非晶硅碳(a-SiC:H)合金薄膜生长和光学特性的影响
期刊论文
中国科学. E辑,技术科学, 2004, 卷号: 34, 期号: 0, 页码: 5
胡志华
;
廖显伯
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刁宏伟
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孔光临
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曾湘波
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徐艳月
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提交时间:2010/11/23
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