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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2003    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Pressure control of the synthesizing chamber with the effective disturbance input for the nanometer Si3N4 production 会议论文 ICEMI'2003: PROCEEDINGS OF THE SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS, VOLS 1-3 作者:  Chen, RB[1];  Fei, MR[2];  Huang, YZ[3];  Zhang, CW[4] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/05/10 nanometer Si3N4  laser-aided production  disturbance input  ratio-cascade control  multi-layer fuzzy algorithm