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河北大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1987 [1]
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发表日期:1987
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OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程
期刊论文
中国激光, 1987, 期号: 11, 页码: 671-673+661
作者:
傅广生[1]
;
李晓苇[2]
;
韩理[3]
;
张连水[4]
;
董丽芳[5]
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提交时间:2019/12/31
激波效应
LPCVD
气体动力学
OLD
SiH_4
等离子体淀积
激光辐照
硅薄膜
激光偏转
反应室
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