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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：近代物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effects of radio-frequency bias on silicon oxide films deposited by dual electron cyclotron resonance-radio frequency hybrid plasma 期刊论文 ACTA PHYSICA SINICA, 2010, 卷号: 59, 页码: 1338-1343 作者:  Ke Bo;  Wang Lei;  Ni Tian-Ling;  Ding Fang;  Chen Mu-Di 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/05/31 electron cyclotron resonance-radio frequency dual hybrid plasma  radio-frequency bias  silicon oxide films   Open air deposition of SiO2 films by an atmospheric pressure line-shaped plasma 期刊论文 PLASMA PROCESSES AND POLYMERS, 2005, 卷号: 2, 页码: 407-413 作者:  Zhu, XD;  Arefi-Khonsari, F;  Petit-Etienne, C;  Tatoulian, M 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/05/31 atmospheric pressure  filamentary discharges  hexamethyldisiloxane (HMDSO)  plasma-assisted chemical vapor deposition (PACVD)  silicon oxide