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上海光学精密机械研... [10]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [4]
发表日期
2015 [2]
2014 [1]
2013 [1]
2012 [1]
2008 [3]
2006 [1]
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专题:上海光学精密机械研究所
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倾斜/旋转紫外光刻技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
何骏
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2016/11/28
倾斜/旋转紫外光刻
仿真模型
MEMS
衍射
掩模优化
Fabrication error analysis for diffractive optical elements used in a lithography illumination system
期刊论文
opt. eng., 2015, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 45102
作者:
Wang, Jian
;
Zhang, Fang
;
Song, Qiang
;
Zeng, Aijun
;
Zhu, Jing
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2016/11/28
Ⅰ型-β无掩模激光直写光刻系统
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
胡永璐
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/28
无掩模光刻
激光直写
微纳加工
自动聚焦
刻写分辨率
倾斜/旋转紫外光刻技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
何凯
收藏
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2016/11/28
倾斜/旋转紫外光刻
仿真模型
MEMS
衍射
准分子激光线宽压窄技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:
张海波
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2016/11/28
准分子激光器
线宽压窄
带宽测量
棱镜扩束器
中阶梯光栅
激光感生荧光
High-fidelity replication of Dammann gratings using soft lithography
期刊论文
appl. optics, 2008, 卷号: 47, 期号: 10, 页码: 1427, 1429
Wang Wei
;
周常河
;
Jia Wei
收藏
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浏览/下载:1012/157
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提交时间:2009/09/18
Dammann gratings
Diffraction imaging
Grating structures
High throughputs
High-fidelity
Light intensities
Low costs
Optical performances
Soft-lithography
Surface reliefs
UV-curable
Structural change of laser-irradiated Ge
2
Sb
2
Te
5
films studied by electrical property measurement
期刊论文
j. non-cryst. solids, 2008, 卷号: 354, 期号: 52-54, 页码: 5563, 5566
Huajun Sun
;
Lisong Hou
;
Yiqun Wu
;
Jingsong Wei
收藏
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浏览/下载:1170/262
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提交时间:2009/09/22
Amorphous metals
metallic glasses
Alloys
Amorphous semiconductors
III-V Semiconductors
Crystallization
Glass ceramics
Conductivity
Films and coatings
Sputtering
Glass transition
Radiation effects
Laser-matter interactions
Microcrystallinity
Phases and equilibria
Structure
Long range order
Short-range order
Structural relaxation
X-ray diffraction
LiGaO_2衬底上ZnO外延膜的结构与光学特性
期刊论文
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 7, 页码: 1420, 1424
黄涛华
;
周圣明
;
滕浩
;
林辉
;
王军
收藏
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浏览/下载:647/104
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提交时间:2009/09/24
薄膜光学
LiGaO
2
半导体材料
Magnetron sputtering
ZnO薄膜
Semiconductor material
磁控溅射
Thin film otpics
LiGaO2
ZnO films
光致发光谱
激光晶体的现状及发展趋势
期刊论文
无机材料学报, 2006, 卷号: 21, 期号: 5, 页码: 1025, 1030
徐军
;
苏良碧
;
徐晓东
;
赵志伟
;
赵广军
收藏
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浏览/下载:1038/197
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提交时间:2009/09/24
激光晶体
laser crystals
激光二极管泵浦
LD pumping
全固态激光器
all-solid-state lasers
超快激光
super-fast laser
氟化钙晶体生长的研究进展
期刊论文
人工晶体学报, 2003, 卷号: 32, 期号: 5, 页码: 476
作者:
苏良碧
;
杨卫桥
;
董永军
;
周圣明
;
周国清
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2016/11/30
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