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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  杨朝兴 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻  分辨率增强技术  光源掩模优化  遗传算法   极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  管文超 收藏  |  浏览/下载：84/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  掩模衍射场  缺陷  快速仿真计算  米散射   水下光通信系统中的自适应数字化阵列接收技术研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  胡秀寒 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2016/11/28 水下光通信  阵列接收  自适应信号处理  蒙特卡洛仿真  马尔科夫链   极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  刘晓雷 收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  掩模模型  缺陷补偿  图形偏移  吸收层修正   基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 622005 作者:  刘晓雷;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻含缺陷掩模仿真模型及缺陷的补偿 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 822006 作者:  刘晓雷;  王向朝;  李思坤 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002 作者:  刘晓雷;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/28 衍射  极紫外光刻  多层膜模型  单平面近似   极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002 作者:  刘晓雷;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/25 衍射  极紫外光刻  多层膜模型  单平面近似   极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002 作者:  刘晓雷;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/28 衍射  极紫外光刻  多层膜模型  单平面近似