|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式：
|
| 成像椭偏测量技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 胡仕玉
  收藏 | 浏览/下载：51/0 | 提交时间：2016/11/28
|
| 基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 622005
作者: 刘晓雷; 李思坤; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2016/11/28 |
| 新型多层膜光栅的设计与性能优化 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 关贺元
收藏 | 浏览/下载：97/0 | 提交时间：2016/11/28
|
| 高性能193nm光学薄膜的制备与性能研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 孙建
收藏 | 浏览/下载：228/0 | 提交时间：2016/11/28
|
| 合成孔径激光成像雷达时空散斑效应研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 许倩
收藏 | 浏览/下载：40/0 | 提交时间：2016/11/28
|
| 偏振横向剪切干涉技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 刘蕾
收藏 | 浏览/下载：33/0 | 提交时间：2016/11/28
|
| 新型多层膜光栅的设计与性能优化 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者: 关贺元
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2016/11/28
|
| 极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002
作者: 刘晓雷; 李思坤; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2016/11/28
|
| 可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪 期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003
作者: 刘蕾; 曾爱军; 朱玲琳; 黄惠杰
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2016/11/25
|
| 极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002
作者: 刘晓雷; 李思坤; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2016/11/25
|
