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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：声学研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究 期刊论文 机械工程学报, 2012, 卷号: 48, 期号: 18, 页码: 85-88 作者:  李俊红;  汪承灏;  刘梦伟 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2021/10/18 硅微压电传声器与硅微压电超声换能器的研究 学位论文 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2008 郝震宏 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2011/05/07 硅微压电传声器  硅微压电超声换能器  三维超声成像  牺牲层释放