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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：高能物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 新型LIGA掩模板制造工艺研究 期刊论文 高能物理与核物理, 2001, 期号: S1, 页码: 131-134 作者:  陈迪;  朱军;  雷蔚;  王水;  张大成 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA掩模板  ICP深刻蚀  LIGA技术