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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
学科主题
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Influence of preparing process on total-dose radiation response of high-k Hf-based gate dielectrics
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2008, 卷号: 517, 期号: 1, 页码: 465-467
Song, ZR
;
Cheng, XH
;
Zhang, EX
;
Xing, YM
;
Yu, YH
;
Zhang, ZX
;
Wang, X
;
Shen, DS
收藏
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提交时间:2012/03/24
BORON PENETRATION
TRANSISTORS
CHARGE
SI
Influence of nitrogen element on total-dose radiation response of high-k Hf-based dielectric films
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007, 卷号: 257, 页码: 501-504
Song, ZR
;
Cheng, XH
;
Zhang, EX
;
Xing, YM
;
Shen, QW
;
Yu, YH
;
Zhang, ZX
;
Wang, X
;
Shen, DS
收藏
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浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2012/03/24
GATE DIELECTRICS
BORON PENETRATION
TRANSISTORS
CHARGE
SI
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