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科研机构
上海微系统与信息技... [12]
内容类型
期刊论文 [12]
发表日期
2012 [1]
2009 [1]
2006 [1]
2005 [2]
2003 [1]
1999 [4]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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The Effect of AlN Nucleation Temperature on the Growth of AlN Films via Metalorganic Chemical Vapor Deposition
期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2012, 卷号: 41, 期号: 3, 页码: 466-470
Wang, H
;
Li, SL
;
Xiong, H
;
Wu, ZH
;
Dai, JN
;
Tian, Y
;
Fang, YY
;
Chen, CQ
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2013/04/17
Aluminum nitride
nucleation
pulsed atomic layer epitaxy
metalorganic chemical vapor deposition
Electrically Pumped Room-Temperature Pulsed InGaAsP-Si Hybrid Lasers Based on Metal Bonding
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 64211-64211
Chen, T
;
Hong, T
;
Pan, JQ
;
Chen, WX
;
Cheng, YB
;
Wang, Y
;
Ma, XB
;
Liu, WL
;
Zhao, LJ
;
Ran, GZ
;
Wang, W
;
Qin, GG
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION
WAVE-GUIDE CIRCUIT
DOUBLE HETEROSTRUCTURES
SILICON SUBSTRATE
CW OPERATION
WAFER
DEVICES
FILMS
A comparison of pulsed-laser-deposited and ion-beam-enhanced-deposited AlN thin films for SOI application
期刊论文
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 2006, 卷号: 133, 期号: 1-3, 页码: 124-128
Men, CL
;
Lin, CL
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
EPITAXIAL-GROWTH
ALUMINUM NITRIDE
ELECTRICAL-PROPERTIES
SILICON
INSULATOR
TEMPERATURE
FABRICATION
SI(111)
AIN
GSMBE growth and characterizations of AlInP/InGaAsP strain-compensated multiple-layer heterostructures
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2005, 卷号: 281, 期号: 2-4, 页码: 255-262
Huang, ZC
;
Wu, HZ
;
Lao, YF
;
Cao, M
;
Liu, C
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
MOLECULAR-BEAM EPITAXY
X-RAY-DIFFRACTION
GAS-SOURCE MBE
MISFIT DISLOCATIONS
LASERS
INP
DEFECTS
Self-organized Ge nanocrystals embedded in HfAlO fabricated by pulsed-laser deposition and application to floating gate memory
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2005, 卷号: 86, 期号: 1, 页码: 13110-13110
Liu, WL
;
Lee, PF
;
Dai, JY
;
Wang, J
;
Chan, HLW
;
Choy, CL
;
Song, ZT
;
Feng, SL
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
DEVICE
HFO2
DIELECTRICS
OXIDATION
SIO2
Characteristics and polarization-enhanced model of wurtzite aluminum nitride thin films synthesized on Si(100) substrates by pulsed laser deposition
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2003, 卷号: 94, 期号: 3, 页码: 1934-1940
An, ZH
;
Men, CL
;
Yu, J
;
Chu, PK
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
EPITAXIAL-GROWTH
ALN FILMS
ROOM-TEMPERATURE
A1N FILMS
SAPPHIRE
HETEROSTRUCTURES
MORPHOLOGY
ABLATION
SI(111)
Effect of annealing on SiC thin films prepared by pulsed laser deposition
期刊论文
DIAMOND AND RELATED MATERIALS, 1999, 卷号: 8, 期号: 12, 页码: 2099-2102
Huang, JP
;
Wang, LW
;
Wen, J
;
Wang, YX
;
Lin, CL
;
Ostling, M
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2012/03/25
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
CUBIC SILICON-CARBIDE
EPITAXIAL-GROWTH
TEMPERATURE
ABLATION
DEVICES
Sol-gel preparation of Pb(Zr0.50Ti0.50)O-3 ferroelectric thin films using zirconium oxynitrate as the zirconium source
期刊论文
JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY, 1999, 卷号: 82, 期号: 2, 页码: 461-464
Zeng, JM
;
Song, SG
;
Wang, LW
;
Zhang, M
;
Zheng, LR
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/25
PULSED-LASER DEPOSITION
PBTIO3
MOCVD
Growth of SiC thin films on (100) and (111) silicon by pulsed laser deposition combined with a vacuum annealing process
期刊论文
WIDE-BANDGAP SEMICONDUCTORS FOR HIGH-POWER, HIGH-FREQUENCY AND HIGH-TEMPERATURE APPLICATIONS-1999, 1999, 卷号: 572, 页码: 207-212
Huang, JP
;
Wang, LW
;
Wen, U
;
Wang, YX
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/25
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
CARBIDE
TEMPERATURE
DEVICES
Preparation of AlN thin films by nitridation of Al-coated Si substrate
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 1999, 卷号: 340, 期号: 1-2, 页码: 137-139
Huang, JP
;
Wang, LW
;
Shen, QW
;
Lin, CL
;
Ostling, M
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/25
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
PULSED-LASER DEPOSITION
GROWTH
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