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MEMS加速度计三维堆叠模块化封装及垂直互连 期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03
阮祖刚; 林小芹; 罗乐
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MEMS三维堆叠模块化封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2007
阮祖刚  
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