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基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11
魏长征; 周伟; 李昕欣
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/13
一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101776483A, 申请日期: 2010-07-14, 公开日期: 2010-07-14
熊斌; 徐德辉; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/06
用于纳米梁自检测及驱动的MOS电容结构研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009
成海涛
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/06
一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2013/04/12
一种小型微流控芯片电泳检测系统和检测自动控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1727888, 申请日期: 2006-02-01, 公开日期: 2006-02-01
金庆辉; 朱海兵; 刘菁; 庄贵生; 赵建龙
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/01/06
一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1570651, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2005-01-26
李昕欣; 程保罗; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2012/01/06
带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器 期刊论文
半导体学报, 2005, 期号: 03
程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋; 杨恒; 戈肖鸿; 宋朝晖
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/06

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