QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器及其结构 成果 鉴定: 无, 2008 熊斌; 朱建军; 车录锋; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/04/12 一种压阻式微机械陀螺的研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2005 陈雪萌   收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS  微机械陀螺  压阻  温度补偿  DRIE     微机械加速度传感器性能的等效电学模拟 期刊论文 电子机械工程, 2002, 期号: 02 车录锋; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/29 微机械梳状电容式加速度传感器及梳状振动式陀螺研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1999 熊幸果 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/03/06 加速度传感器  梳状振动式陀螺