微机械加速度传感器性能的等效电学模拟

	微机械加速度传感器性能的等效电学模拟
	车录锋 ; 熊斌 ; 王跃林
刊名	电子机械工程
	2002
期号	02
ISSN号	1008-5300
中文摘要	建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型 ,通过振动特性的等效电路模型分析了加速度传感器对正弦加速度信号 ,阶跃加速度信号 ,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况 ;利用压控电容模型分析了加速度传感器检测正弦加速度信号时的小电容检测电路的性能。模拟结果表明采用反馈可以拓宽加速度传感器的测量范围 ,利用等效电学模型可以优化接口电路的整体性能
公开日期	2012-03-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105032]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所）
推荐引用方式 GB/T 7714	车录锋,熊斌,王跃林. 微机械加速度传感器性能的等效电学模拟[J]. 电子机械工程,2002(02).
APA	车录锋,熊斌,&王跃林.(2002).微机械加速度传感器性能的等效电学模拟.电子机械工程(02).
MLA	车录锋,et al."微机械加速度传感器性能的等效电学模拟".电子机械工程 .02(2002).